主要规格及技术指标

一、场发射扫描电子显微镜1.电子光学系统：
电子源：肖特基热场发射电子枪；镜筒：具有电子束推进器，能保证在超低加速电压下获得小束斑和高信噪比；分辨率：0.9nm@15kV，1.3nm@1kV（非样品台减速模式和非磁浸没模式）；光阑：7孔电磁切换光阑；加速电压范围（非着陆电压）：20V－30kV，步进10V，连续可调；最大探针电流：20.0nA，稳定性优于0.2%/h；
7放大倍率范围：10X－1,000,000X(底片放大倍率)，连续可调；最大图像显示像素：1024×768像素；最大图像单次抓取储存像素：32k×24k 像素（非叠加后）。
7.2大样品室设计，内部直径365mm，高度275mm，可以扩展拉伸台，加热台，
二、能谱仪
探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，晶体有效面积30mm2，高分子超薄窗设计，无需液氮冷却，仅消耗电能；封闭式真空系统，无需借助SEM抽放真空；
9.2重元素能量分辨率：Mn Ka保证优于129eV（@计数率130,000cps）；保证符合ISO 15632:2012标准；元素分析范围：B5～Cf98；
三、超景深数码显微镜
物镜：5x平场复消色差物镜，放大倍率：101X-1010X，工作距离：30mm，最大视场范围：4mm；相机：内置宏观预览相机和内置显微镜相机双相机。其中显微镜相机CMOS尺寸：1英寸。单张高清图像分辨率1800万像素；电动载物台，尺寸：310×220 mm，水平方向XY移动行程：130×100mm，最大样品载重：4.0Kg，垂直方向最大移动行程(电动）：60mm；

主要功能及特色

扫描电镜形貌观察、能谱分析，可应用于金属制造、生物材料等领域

主要附件及配置

一、场发射扫描电子显微镜
型号、 规格：Sigma 360
品牌：Zeiss
制造商及原产地：Carl Zeiss Microscopy.Ltd 英国
二、能谱仪
型号、 规格：Xplore 30
品牌：Oxford
制造商及原产地：Oxford Instruments Nanotechnology Tools Ltd 英国
三、超景深数码显微镜
型号、 规格：Smartzoom 5
品牌：Zeiss
制造商及原产地：CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH 德国